半导体生产线控制与调度研究

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半导体生产线控制与调度研究

王中杰，吴启迪

同济大学CIMS研究中心，上海200092

出版日期:2002-08-15 发布日期:2002-08-25

Research of Control and Scheduling on Semiconductor Manufacturing Line

WANG Zhong-jie，WU Qi-di

CIMS Research Center, Tongji Univ., Shanghai200092,China

Online:2002-08-15 Published:2002-08-25

摘要/Abstract

摘要： 研究半导体生产线的控制与调度对微电子企业的生产具有重大价值。总结了国内外半导体生产线控制与调度问题的研究现状，分析并比较了各种调度策略，论述了对调度问题赖以存在的模型基础，指出了存在的问题，并探讨了可能的研究方向。

关键词: 半导体生产线, 可重入生产系统, 控制与调度, 建模

Abstract: It is inportant to study the semiconductor manufacturing line. In this paper, the study of control and scheduling for the semiconductor manufacturing line is summarized, the different scheduling policies are analyzed and compared, the models of the scheduling policies are expounded, the problems are pointed out and the possible research issues are discussed.

Key words: semiconductor manufacturing line, reentrant line, control and scheduling, modeling

中图分类号:

TP278

王中杰，吴启迪. 半导体生产线控制与调度研究[J]. .

WANG Zhong-jie，WU Qi-di. Research of Control and Scheduling on Semiconductor Manufacturing Line[J]. .

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