基于模糊推理的半导体生产重调度策略研究

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基于模糊推理的半导体生产重调度策略研究

乔非，李莉，马玉敏，王遵彤，施斌

同济大学电子与信息工程学院，上海200092

出版日期:2009-01-15 发布日期:2009-01-25

Fuzzy-reasoning-based rescheduling strategy for semiconductor manufacturing

QIAO Fei, LI Li, MA Yu-min, WANG Zun-tong, SHI Bin

School of Electronics & Information Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China

Online:2009-01-15 Published:2009-01-25

摘要/Abstract

摘要： 半导体生产重调度策略重点解决重调度的判定和重调度方法的选择，鉴于这两类问题中都涉及到大量随机和不确定因素，提出一种基于模糊Petri网模型的模糊推理方法。首先定义了由七类元素构成的面向重调度策略判定的模糊Petri网模型，继而详细讨论了基于该模糊Petri网模型的模糊推理过程。最后，以实际半导体生产线为背景，针对因设备故障引发的重调度问题，运用文中所提出的方法进行推理，说明了该方法的可行性。

关键词: 模糊推理, 半导体生产, 重调度策略, Petri网, 建模

Abstract: Rescheduling strategy of semiconductor manufacturing emphasized on two aspects：rescheduling judgment and rescheduling method selection. Since large amount of stochastic and uncertain factors were involved in these two problems, a fuzzy reasoning methodology based on fuzzy Petri nets was proposed. After a Fuzzy Petri Net model oriented to Rescheduling Strategy (FPN-RS) structured by seven elements was defined, the reasoning methodology based on FPN-RS were discussed. Finally, the application and feasibility of the proposed FPN-RS model and model-based reasoning methodology were illustrated by a case study of practical semiconductor manufacturing.

Key words: fuzzy reasoning, semiconductor manufacturing, rescheduling strategy, Petri nets, model building

中图分类号:

TP273

乔非，李莉，马玉敏，王遵彤，施斌. 基于模糊推理的半导体生产重调度策略研究[J]. .

QIAO Fei, LI Li, MA Yu-min, WANG Zun-tong, SHI Bin. Fuzzy-reasoning-based rescheduling strategy for semiconductor manufacturing[J]. .

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