摘要: 针对复杂纹理芯片表面缺陷检测困难的问题,提出一种基于改进Frangi滤波的芯片表面缺陷检测算法。改进算法突破了传统Frangi滤波仅能有效增强线状缺陷的限制,在原算法模型的基础上,先将圆形结构抑制项去除,再采用优化后的频率调谐(frequency tuned,FT)显著性检测算法对背景判定条件进行改进,最后加入所构建的块状缺陷响应项,得到新型多特征响应函数。实验结果表明,改进算法能够有效增强芯片表面各类缺陷,平均检测率达到97.3%,较原算法提升46%。与同类检测算法相比,改进算法在弱划痕检测方面优势明显,划痕检测率达到90%。此外,算法平均耗时仅0.08s,满足实时检测需求。
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