晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究

晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究

潘春荣,，伍乃骐

Scheduling of cluster tools in wafer fabrication

PAN Chun-rong,, WU Nai-qi

. 2009, (03): 0 -0 .